要在洁净室中使用的设备，在可能时应该在洁净条件下制造，其包装程序也应该应洁净室内的要求。把设备送入洁净室的过程不应增加对环境的污染。进入“空态”或“静态”洁净室的设备应该正确地拆包、清洁，否则以后要做大量的洁净工作。特别应该注意的是设备进入“动态”洁净室前应该考虑的问题。这不仅会使洁净室处于污染的风险中，还会危及工艺过程中的产品，同样要求大量的洁净工作，而且还要按ISO 14644-2重新认证洁净室。应该制定适当的策略，避免出现上述问题。

安装设备的有效方法是把设备与洁净室环境的其余部分隔离开，用临时的隔离墙或隔断设备周围，设备周围留出足够的空间，保证不妨碍设备的安装。

1）如果可能就通过服务通道或其它非关键区进入隔离区。如果不可能，应采取措施尽量减少由结构造成的污染。流向该隔离区的气流应该保持中性压力或负压，避免气流强制流出工作区带来污染的可能性。

2）完全密封的隔离区不应从内部加压，否则污染可能会穿透屏障，影响周围的洁净室。隔离区内应该阻断洁净空气的送风，避免给周围的洁净室造成压力。 如果只有通过相邻的洁净室才能进入隔离区，应该采用粘性垫，除掉鞋子上带的污染。进入隔离区后，可能要求用一次性靴子或鞋套来避免污染洁净服。离开隔离区前要把这些一次性物品脱下。

3）应该制定监控隔离区周围区域的方法和频率，确保能检测出任何渗漏进相邻洁净室内的污染。

4）然后，架设各种动力设施，如电、水、气体、真空、压缩空气何废水管道。应该注意对这些作业产生的烟气和残物尽可能全部加以控制和包纳，避免由于疏忽而弄到周围的洁净室内，这也有助于拆除隔离屏障前能有效的清洁。

5）然后应该采用认可的洁净程序清除整修隔离区的污染。所有表面都要真空清洁、擦拭和清理，包括所有的墙、固定的和便捷式的设备及地面。

6）要特别注意设备护板后面和设备下面区域的清洁。

7）现在可以作一些内部的准备工作和设备性能的初步测试，但最后验收的测试要求完全具备洁净室条件才行。

8）现在可以小心地拆除隔离墙，经过过滤的空气可以接入送风。进行这一步的时间应该仔细地选定，尽量减少对洁净室内正常工作的干扰。还可要求作粒子测量或测试。

9）设备内部和关键的加工小室应该在正常的洁净室条件下进行清洁和投入使用的准备工作。

10）对所有适当的内腔室和所有与产品接触或涉及产品传递的表面都要进行擦拭，达到要求的洁净度级别。设备的清洁程序应该是从顶到底，因为如果有粒子散布，较大的粒子会因重力而落到设备的底部或地面上。

11）清洁设备外部，顺序也是从顶到底。

12）必要时，应该检查产品或工艺要求非常关键的区域的表面粒子情况。